真空上料機的核心部件主要包括真空泵、過濾器、氣動放料門等,其國產化替代進程如下:
真空泵:在中低端市場,本土企業已實現規模化突破,例如某真空泵在光伏真空泵領域市占率超70%,并逐步切入半導體領域,2023年真空產品收入達16.42億元,占總營收42.63%。在半導體制造領域,某企業通過自主研發的干式真空泵技術,已在中芯國際、長江存儲等企業實現量產交付,打破了多個國際品牌的壟斷,國產化率從不足5%提升至15%-20%。不過,在超高真空設備領域,本土企業仍落后于國際品牌,但正通過產學研合作加速突破。
過濾器:國內企業在過濾器研發與生產方面取得了一定進展。一些企業能夠生產多種類型的過濾器,如聚酯覆膜過濾器、PE過濾器、316L不銹鋼過濾器等,滿足不同行業對真空上料機過濾性能的需求,例如,部分企業生產的不銹鋼過濾器,其過濾精度和耐腐蝕性能可與進口產品相媲美,且價格更具優勢,在國內市場的占有率逐漸提高。在一些對過濾精度要求較高的食品、醫藥等行業,國產過濾器也開始得到廣泛應用。
氣動放料門:隨著國內制造業的發展,氣動放料門的國產化替代也在穩步推進。國內一些企業通過引進國外先進技術并進行消化吸收,結合自身的創新能力,生產出的氣動放料門在性能和質量上有了很大提升,其密封性、可靠性和使用壽命等指標都能滿足真空上料機的工作要求,并且在價格和售后服務方面具有明顯優勢。目前,國產氣動放料門已在國內眾多企業的真空上料機設備中得到應用,逐漸替代了部分進口產品。
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